解决“卡脖子”问题 国产光刻机项目用了他们的光源

  从正面看去，一个比例被放大数十倍的立体玉龙跃然眼前，可当你伸手去触摸时，却只碰到了空气（见下图），2月20日，在位于新乡市红旗区新东产业集聚区的百合光电有限公司（以下简称百合光电），记者感受到了裸眼3D悬浮成像技术这一“黑科技”。

  除了上述裸眼3D悬浮成像技术，在百合光电，太阳光模拟系统，让人即使身处暗室也能尽情享受“日光浴”；深紫外辐照模拟设备，可以模拟太空光照环境，被用于建造卫星的材料筛选环节……

  “这些只是我们研发路上的‘副产品’，今年国内的一家新能源汽车品牌参加车展时，也会用到这项技术。”百合光电总经理、英国南威尔士大学光电工程学博士张博说，在研发光刻光源的过程中，该企业掌握了高精度的光学元件加工技术，实现了微米级别光刻光源系统的国产化量产，产品的质量达到了国际领先水平，“捎带”着生产出一系列“黑科技”产品。

  “无论是悬浮感、对比度、分辨率，还是生态环保、常规使用的寿命、综合成本，我们的产品都经得起市场的竞争和考验。”张博说。

  2016年，张博带着一支6人科研团队，来到红旗区新东产业集聚区，注册成立公司，开始了光刻光源的研发。“研发生产的全部过程中，深深感受到了被‘卡脖子’的痛苦，比如很多生产设备的部件，反光碗来自日本，还有的来自美国，那时我们没办法完全实现‘中国造’。”

  光刻、曝光设备是国家的战略装备，技术门槛高，投资大，周期长，而光学就是这里面的核心难点之一。我国该领域起步晚，经验少，市场化的产品更是差距巨大。目前，虽然我国90纳米的设备已经验收，正在攻关28纳米的光刻机，但在市场上，就算是微米和亚微米级别，国外品牌依然是主流。

  “为助力半导体装备产业实现国产化，不再被光刻光源‘卡脖子’，我们每年拿出企业年产值的20%~25%作为科研经费，与各大高校建立战略合作，从市场需求出发，定位技术攻关方向，联合培养人才，实现项目产业化。”张博说。

  近几年，百合光电开发了系列UV-LED光源系列新产品，绕过了国外在超高压汞灯、恒流源等领域建立的产业壁垒，在节能、环保、减少相关成本、提高品质等方面全面超越传统汞灯，符合国家碳达峰、碳中和的远大目标，实现了产品指标国际领先。在集成电路、液晶、线路板、LED等行业，百合光电已经成功开发并产业化了30余款系列新产品，实现整机国产化。

  “酒香不怕巷子深”。中科院牵头的国产光刻机重点项目，采用的是百合光电提供的光源模组；作为国产光刻机民企“龙头”的大族激光，选用了百合光电生产的整套曝光系统；去年6月起，百合光电向半导体有突出贡献的公司中芯国际保质保量供应了光学零部件，前几天正式成为中芯国际光学元器件的战略供应商……

  张博介绍，近5年，百合光电以年均增收20%的速度健康发展，未来两三年，预计年产值、利润增幅均将超过100%。“我们将继续探索和开创更多光的可能性，大力投入健康、环境、绿色、娱乐等产业，研发出更多更好的新产品。”